5-осьові фрезеровані керамічні ізолятори для напівпровідникового обладнання та чистих приміщень

У світі виробництва напівпровідників та чистих приміщень з високими ставками кожен компонент повинен забезпечувати бездоганну роботу.ПФТ, ми спеціалізуємося на рукоділлі5-осьові фрезеровані керамічні ізоляториякі переосмислюють точність і надійність. Маючи понад 20Завдяки багаторічному досвіду наші рішення розроблені з урахуванням високих вимог до напівпровідникового обладнання, забезпечуючи термостабільність, електричну ізоляцію та роботу без забруднення в надчутливих умовах.

Чому варто обрати наші 5-осьові фрезеровані керамічні ізолятори?

1.Розширені виробничі можливості

Наш заклад оснащенийнайсучасніші 5-осьові фрезерні верстати з ЧПК, що забезпечує мікронну точність формування передових керамічних виробів, таких як оксид алюмінію (Al₂O₃), карбід кремнію (SiC) та нітрид алюмінію (AlN). На відміну від традиційних методів, 5-осьова обробка дозволяє створювати складні геометрії, що є критично важливим для таких компонентів, як штифти для підйому пластин, деталі камери осадження та плазмостійкі ізолятори.

Основні характеристики:

•Точність:Допуск ±0,005 мм для безшовної інтеграції з літографічними інструментами ASML або системами травлення Lam Research.
•Універсальність матеріалу:Оптимізовано для 99,8% глинозему, високочистого SiC та іншої сучасної кераміки.
•Оздоблення поверхні:Ra <0,2 мкм для мінімізації утворення частинок у чистих приміщеннях класу ISO 1.

2.Власна технологія процесу

Наші інженери розробиликерування процесами із замкнутим цикломякі адаптуються до крихкості кераміки під час обробки. Поєднуючи методи сухого фрезерування з гасінням вібрації в реальному часі, ми досягаємо поверхонь без тріщин та подовженого терміну служби компонентів — навіть за екстремальних термоциклічних змін (до 1600°C).

Інновації у центрі уваги:

•Протоколи для зняття стресу:Мінімізація мікротріщин в AlN ізоляторах для застосувань CVD.
•Обробка після механічної обробки:Гаряче ізостатичне пресування (HIP) підвищує щільність та стійкість до корозії.

3.Ретельне забезпечення якості

Кожен ізолятор проходить12-етапна перевірка, включаючи:

•КВМ (координатна вимірювальна машина)перевірка критичних вимірів.
•Випробування на витік геліюдля сумісності з вакуумом.
•EDS (енергодисперсійна рентгенівська спектроскопія)для перевірки чистоти матеріалу.

НашСистема сертифікації ISO 9001/14001забезпечує відстеження від закупівлі сировини (що надходить від постачальників першого рівня, таких як CoorsTek) до кінцевого пакування.

Застосування: де точність зустрічається з продуктивністю

Нашим ізоляторам довіряють:

•Інструменти для травлення та осадження:Компоненти з покриттям SiC для плазмостійкості в модулях Applied Materials™.
•Іонні імплантатори:Алюмінієві підйомні штифти з антистатичним покриттям для запобігання зісковзуванню пластини.
•Метрологічні системи:Ізолятори з низьким коефіцієнтом теплового розширення для платформ EUV-літографії.

Тематичне дослідження:Провідний виробник напівпровідників скоротив час простою інструментів на 40% після переходу на наші спеціально розроблені душові лійки з карбіду кремнію, які перевершили деталі конкурентів в обробці пластин розміром 300 мм.

За межами виробництва: партнерський підхід

•Швидке прототипування:Надішліть свої CAD-файли та отримайте функціональні прототипи протягом 7 днів.
•Упаковка для чистих приміщень на місці:Додаткова збірка для чистих приміщень класу 10 для безпосередньої інтеграції інструментів.
•Довічна технічна підтримка:Наші інженери надають послуги з аналізу зносу та повторної обробки, щоб подовжити термін служби компонентів.